词语
衍射光学元件
yǎn shè guāng xué yuán jiàn · ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ · 更新 2026-06-29 23:11:41
基本属性
- 拼音字母yan she guang xue yuan jian
- 拼音首字母ysgxyj
- 注音符号ㄧㄢ ㄕㄜ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝ ㄩㄢ ㄐㄧㄢ
- 注音首符号ㄧㄕㄍㄒㄩㄐ
词语解释
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。