lí zi xǐ · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ · 更新 2026-06-29 20:50:03
离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。