lí zi shù wài yán · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄨㄞˋ ㄧㄢˊ · 更新 2026-06-30 22:45:39
离子束外延是在真空环境中，用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。