tóu yǐng tòu jìng · ㄊㄡˊ ㄧㄥˇ ㄊㄡˋ ㄐㄧㄥˋ · 更新 2026-06-29 19:02:11
投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜，用于对准的激光束照在晶圆上，其反射束经过曝光系统的透镜，汇聚在掩模上成像。