duì zhǔn jīng dù · ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ · 更新 2026-06-29 18:30:10
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。