词语
最小曝光量
zuì xiǎo pù guāng liàng · ㄗㄨㄟˋ ㄒㄧㄠˇ ㄆㄨˋ ㄍㄨㄤ ㄌㄧㄤˋ · 更新 2026-06-30 13:01:56
基本属性
- 拼音字母zui xiao pu guang liang
- 拼音首字母zxpgl
- 注音符号ㄗㄨㄟ ㄒㄧㄠ ㄆㄨ ㄍㄨㄤ ㄌㄧㄤ
- 注音首符号ㄗㄒㄆㄍㄌ
词语解释
最小曝光量，完成下述作用所必需的光学辐照(能够产生光化学反应的电磁辐射)的总累积能量：(1)使给定厚度的胶膜恰好完全溶解复制一个正性光学掩模版；(2)使给定厚度抗蚀剂胶膜恰好不溶解复制一个负性光学掩模版。