yìn wēi · ㄧㄣˋ ㄨㄟ · 更新 2026-06-30 21:56:06
新的SCIL（基板完整压印微影）技术是用于亚50奈米图形制造的技术，它运用于小尺寸高解析度硬质印模和解析度低于200nm的大面积软质印模之间的优势互补。